ESCステージ

生産設備向け吸着ステージとして提供している静電チャックです。
特殊環境(真空加熱環境）用から機種替えフリー用途など薄い脆い多孔質素材の吸着ツールとしてご利用いただいております。
専用ＤＣ電源もセット販売しており、運用プロセスワークサイズに合わせ　システム提案いたします。