コードレスホルダー

吸着部・電源基板・バッテリーを一体化することで、コードレス化ができます。
インラインでの運用や既存設備のまま　設備改造　配線処理不要でワーク固定が可能です。

ハンディタイプ（ソフトパーム）

ウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルム薄物ワーク専用ハンディタイプ静電チャックです。充電式電池駆動のため、いつでもどこでも使えて便利です。

カスタム対応も可能です。

静電ベルト

2枚目への吸着作用が無いため、積層された紙1枚目だけを吸着することが可能です。

ウエハーハンド

真空用途向け点接触型ウェハー搬送用ハンドです。