Supporterシステム

静電チャックの常識を打ち破る 給電ユニットなしで吸着維持可能なキャリアタイプ
半導体の製造プロセスに革命をもたらします。

Supporterは、強度のある基材の両⾯に特殊な素材を挟みこみ⼀体形成した静電チャックで、半導体製造⼯程でウェハをサポートするために使⽤する治具（キャリア）として利⽤します。
筑波精⼯の既存の静電チャックが持つ特⾊に加え、給電ユニットから分離しても吸着⼒を維持する特⾊を備えています。
給電ユニットを⽤いて⼀度電界をかけると保持⼒は半永久的に維持され、対象物を「Supporter」から分離する際にはもう⼀度給電ユニットを⽤いて電界を解除すれば、いつでも「Supporter」と対象物を分離することができます。