Supporterシステム
従来の静電チャックの常識を打ち破るコードレス型キャリアタイプ。
パワー半導体の製造ラインに投入することにより、極薄半導体製造を可能とし、よりエネルギーロスが少ない高性能なIGBTやMOSFET製造を実現することが可能となります。製造ライン投入のための自動機を含めたシステムでご提案致します。
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ESCステージ（生産設備向け）
吸着力の強化で、薄化が進むディスプレイ向けガラス等の壊れやすいワークや、しわの発生するフィルムや金属箔等の加工難易度の高いワークの保持・加工を可能とし、世界の製造現場の生産性を高めます。
その他製品
小型薄物ワーク吸着用ハンディタイプ「ソフトパーム」、静電チャックと電源を一体化した「コードレスホルダー」、印刷機内のローラーの代替向け「静電ベルト」、など、様々な応用製品があります。
静電チャックが対応できる課題（製品に関するFAQ)
静電チャックはバキュームチャックでは対応できない真空環境下でも安定した吸着力を発生できます。ステージ、Supporter など用途に合わせてご提案いたします。
静電チャックは面吸着のため、局所的ストレスがかかりません。
材質によって吸着可否がありますが、サンプルをご提供いただければ
評価いたします。お気軽にお問合せください。
Supporterを利用することで、反りが発生したウェハの矯正が可能です。
Supporterを利用し、ウェハを補強することで、外周補強方式が不要になります。
Supporterを利用することで、高額な専用設備が不要となり、既存設備にて最新の薄ウェハ加工を実現します。既存設備を用いるためコストダウンが可能です。
Supporterを利用することで、反り矯正が可能です。
インライン設備向けステージとして、Supporter および バッテリー駆動ステージといったコードレス製品をご提供しております。
静電チャックは面吸着のため、局所的ストレスがかかりません。薄いワークもストレスなく、吸着保持が可能です。
静電チャックは面吸着のため、局所的ストレスがかかりません。そのため吸着痕がつきません。
静電チャックは面吸着のため、局所的ストレスがかかりません。そのためワークにしわが付きません。
弊社静電チャックは、吸着作用が接触するワークの表面数μに限定されます。
ワーク裏面には影響がないため、積層から1枚だけのピックアップが可能です。ワーク状態により適否があります。事前評価を致しますのでお気軽にお問合せください。
静電チャックは『真空環境』『温度環境(200℃以下)』『UV環境』『低湿度環境』『マイナス温度環境』でも問題なく動作が可能です。
静電チャックは面吸着のため、真空吸着（バキュームチャック）ではうまく固定ができない穴だらけの素材や多孔質材でも問題なく吸着が可能です。
静電チャックは面吸着のため、ワークの形状やサイズに関係なく動作が可能です。
多サイズ、多品種対応が一つのステージで対応できます。
Supporterを、サイズや厚みの変換治具として利用することで、既存設備の機種替え改造をせず、そのまま利用することが可能です。
