静電チャックとは、電圧を印加し電極と対象物間に発生したクーロン力によって、吸着するツールです。
筑波精工のHPTSは、最も低電圧で高吸着を実現した静電チャックです。

筑波精工では、独自の静電チャック技術を応用した、FPDや半導体製造の最先端技術の現場で使用するツールの設計・開発を行っております。

静電チャックとは｜製品一覧

上記以外にも、表面に凸凹のあるものや、多孔質・通気性のあるものも吸着可能です。真空環境下での使用も可能です。