FPD・半導体製造の最先端技術に役立つ次世代静電チャックHPTSの設計開発

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2016年 8月 サポーター関連情報更新。
2015年 9月 筑波精工株式会社のホームページをリニューアルしました。

IR NEWS

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    静電チャックとは、電圧を印加し電極と対象物間に発生したクーロン力によって、吸着するツールです。
    筑波精工のHPTSは、最も低電圧で高吸着を実現した静電チャックです。

    筑波精工では、独自の静電チャック技術を応用した、FPDや半導体製造の最先端技術の現場で使用するツールの設計・開発を行っております。

    LinkIcon静電チャックとは製品一覧

    静電チャックHPTSの吸着、固定、搬送用ステージ、ハンドの使用例

    使用例01.psd
    ガラス基板

    使用例02.psd
    半導体ウェハー

    使用例03.psd
    フィルム 紙等の薄物

    使用例04.psd
    FPC 金属フレーム基板 セラミック

    使用例05.psd
    DVD等

    上記以外にも、表面に凸凹のあるものや、多孔質・通気性のあるものも吸着可能です。真空環境下での使用も可能です。

    製品案内バナー.jpg静電チャックとは.jpg

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