世界が認めた技術により製造現場に革新を
次世代ディスプレーや半導体デバイス生産の要として
歴史に裏打ちされた技術と誇り
給電ユニットから分離しても長時間吸着力を維持できる コードレス型静電チャックシステム
生産設備向け 静電チャックシステム
静電チャックシステムを用いた 応用例