
ESC Stage
是作为用于生产设备的吸附STAGE而提供的静电吸盘。
作为纤薄易碎的多孔质原材料的吸附工具,被应用于从特殊环境(真空加热环境)到无需切换机型等多种用途。
还可搭配专用DC电源成套销售,结合应用制程工件的尺寸,进行系统提案。
是作为用于生产设备的吸附STAGE而提供的静电吸盘。
作为纤薄易碎的多孔质原材料的吸附工具,被应用于从特殊环境(真空加热环境)到无需切换机型等多种用途。
还可搭配专用DC电源成套销售,结合应用制程工件的尺寸,进行系统提案。
对象工件 |
半导体晶圆 ![]() 金属箔 ![]() 玻璃 ![]() 多孔质原材料 ![]() 薄膜 ![]() 金属箔 ![]() 纸张 ![]() |
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吸附对象工件 | 智能手机、平板电脑、个人电脑、电视机面板、半导体、电子器件、燃料电池 |
吸附对象材质 | 玻璃、薄膜、Si、金属箔、纸张、陶瓷等 |
吸附对象应用程序 | 成膜装置、蚀刻装置、真空贴合装置、检查装置、各种搬运装置 |
ESC STAGE的结构类型 |
静电吸盘吸附部 ![]() 专用DC电源 ![]() |
运用世界公认的先进技术为制造现场带来创新革命
浏览详细信息请点击此处是生产新一代显示屏和半导体设备的关键要素
浏览详细信息请点击此处获得历史证明的精湛技术与荣耀
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