筑波精工株式会社(筑波精工株式会社)

ESC Stage

ESC Stage

ESC Stage

是作为用于生产设备的吸附STAGE而提供的静电吸盘。
作为纤薄易碎的多孔质原材料的吸附工具,被应用于从特殊环境(真空加热环境)到无需切换机型等多种用途。 还可搭配专用DC电源成套销售,结合应用制程工件的尺寸,进行系统提案。

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对象工件

半导体晶圆

半导体晶圆

金属箔

金属箔

玻璃

玻璃

多孔质原材料

多孔质原材料

薄膜

薄膜

金属箔

金属箔

纸张

纸张
吸附对象工件 智能手机、平板电脑、个人电脑、电视机面板、半导体、电子器件、燃料电池
吸附对象材质 玻璃、薄膜、Si、金属箔、纸张、陶瓷等
吸附对象应用程序 成膜装置、蚀刻装置、真空贴合装置、检查装置、各种搬运装置
ESC STAGE的结构类型

静电吸盘吸附部

静电吸盘吸附部

专用DC电源

专用DC电源