Supporter系统

是颠覆静电吸盘的常识，无需供电单元就能够保持吸附的便携型静电吸盘 将为半导体的制造流程带来革命。

Supporter是通过在具有一定强度的基材的正反两面间夹住特殊的原材料来实现⼀体成型的静电吸盘，并作为夹具（Carrier）被用于在半导体制造工序中支撑晶圆。
除了筑波精⼯现有的静电吸盘具有的特色之外，还具备即使与供电单元分离也能够保持吸附⼒的特⾊。
一旦使用供电单元，施加电场，就能半永久地维持保持⼒，将对象物件与“Supporter”分离时，如果再次使用供电单元，解除电场，就能够随时将“Supporter”与对象物件分离。