筑波精工株式会社(筑波精工株式会社)

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Supporter系统

Supporter系统

颠覆传统静电吸盘常识的无线载波型静电吸盘。
通过投入功率半导体的生产线,实现了超薄半导体制造,能够以更少的能源损失实现高性能IBGT(绝缘栅双极型晶体管)和MOSFET(金氧半场效晶体管)制造。本公司可以就包括以投入生产线为目的的自动设备的系统进行整体提案。

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ESC stage(面向生产设备)

ESC stage(面向生产设备)

通过加强吸附力,成功实现了呈超薄化发展趋势的显示屏用玻璃面板等容易损坏的工件以及容易发生褶皱的薄膜和金属箔等加工难度很高的工件的保持及加工,提高了全世界制造现场的生产效率。

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其他产品

其他产品

有用于吸附小型纤薄工件的手持型 “Soft Palm”、实现静电吸盘与电源一体化的“无线Holder”、用于代替印刷机内油墨辊的“静电皮带”等各种应用产品。

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静电吸盘能够应对的课题(与产品有关的FAQ)

在真空吸盘不能应对的真空环境下,静电吸盘也能够产生稳定的吸附力。 本公司可以针对stage、Supporter等用途进行提案。
静电吸盘属于面吸附,不会产生局部的压力。 根据不同的材质,存在是否能够吸附的差异,如果客户能够提供样品,本公司可以实施吸附力评价。 欢迎咨询。
使用Supporter,能够矫正发生了翅曲(warpage)的晶圆。
使用Supporter来增强晶圆,就不需要采用外周增强方式。
使用Supporter后,就无需投入昂贵的专用设备,采用现有设备即能实现最新型超薄晶圆加工。 使用现有设备能够降低成本。
使用Supporter,能够矫正翅曲(warpage)。
作为面向生产线设备的stage,本公司可提供Supporter及电池驱动stage这些无线产品。
由于静电吸盘是面吸附,不会导致局部的压力。 还能够毫无压力的吸附并保持纤薄型工件。
由于静电吸盘是面吸附,不会产生局部的压力。 因此不会留下吸附压痕。
由于静电吸盘是面吸附,不会产生局部的压力。 因此工件上不会产生褶皱。
本公司的静电吸盘的吸附作用仅限接触的工件的表面数μ。 由于对工件背面没有影响,能够从叠层中仅挑拣1张。 根据工件的状态,存在是否适合的差异。本公司可以实施事前评价,欢迎咨询。
静电吸盘即使在真空环境 温度环境(200℃以下) 紫外线照射环境 低湿度环境  零下温度环境下也能够正常工作。
由于静电吸盘是面吸附,能够轻松吸附真空吸附(真空吸盘 )不能牢固固定的有很多孔的原材料和多孔材料。
由于静电吸盘是面吸附,不受工件的形状和尺寸的影响,能够正常工作。 能够以一个stage应对多种尺寸、多个品种。
通过将Supporter作为转换尺寸和厚度的夹具来使用,不必对现有设备实施机型转换的改造就能够直接使用。