設計開發應用於FPD,最先端半導體製造技術的E-chuckHPTS。

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製品概要.jpg

手提式E-chuck
Soft Palm
Soft Palm 適合搬送薄型晶片,玻璃基板,薄膜。

手提式E-chuck。有充電式和專用電源控制型。

演示機的借出中!.jpg

コードレスソフトパーム.JPG
充電式

ソフトパームコード付き.jpg
有線控制電源方式(專用控制器)

製品特徴.jpg

● 接觸面的支持力均勻,對被吸物體不產生局部應力。
● 可以吸附有凹凸面的物體。
● 對象物的背面沒有電位,不吸附周圍的灰塵。
● 電源內藏式,方便攜帶。

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対象物
導体〜半導体〜絶縁体
印加電壓
電池內藏式,可調電壓(0.3、0.5、0.7、0.9、1.0kV)
專用控制箱式 1kV
把持力
印加電圧:1kV 40gf/平方cm(導体/半導体)
印加電圧:1kV 20gf/平方cm(LCD玻璃基板)
電源
電源內藏式 充電式/単4乾電池3本
專用電源式 AC100V 50/60Hz
連続使用時間
電源內藏式 8時間以上

製品介紹.jpg什麼叫E-chuck.jpg

公司簡介.jpg在線留言.jpg