設計開發應用於FPD,最先端半導體製造技術的E-chuckHPTS。

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HPTS應用在各種各樣的行業,裝置。.jpg

HPTS被採用在各種設備,生產現場,研究所等.

液晶顯示屏,有機EL
觸摸式屏幕,半導體晶片
太陽能晶片,HDD,
印刷電路板,燃料電池,印刷機等

封合裝置
蒸鍍裝置
曝光裝置
檢查裝置
移動搬運裝置
印刷機


玻璃基板,硅片
合成物晶圓,銅箔,薄膜
印刷電路板, FPC薄膜
導體,絕緣體薄膜,紙,
陶瓷薄膜

使用例01.psd
玻璃基板的搬運

使用例02.psd
半導體晶圓的搬運

使用例03.psd
各種薄膜,紙張處理

使用例04.psd
基板搬運

使用例05.psd
DVD等搬運

除上述之外還可以吸附表面凹凸不平,多孔性,有通氣性的物體。可以使用在真空環境裡。

製品一覧.jpg

ティンハンド.jpg
自動化裝卸機用E-chuck
Thin Hand
應用在自動裝卸機

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コードレスホルダー.jpg
內藏電池驅動
Cordless Holder
應用在鍍膜裝置及其in-Line裝置

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ウェハーサポーター.JPG
薄料材 補強板
Wafer Supporter
可以當晶圓,箔等補強板使用。

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ウェハーハンド拡大図-1.jpg
用點接觸的方式使接觸面積較少到最少。
WaferHand
在真空環境下也能實現穩定搬運的點接觸式。

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紙送りベルト.JPG
靜電吸著式輸送帶。
不受紙張的厚度,表面狀態的限制
可以連續抽出。

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コードレスソフトパーム.JPG
手提式E-chuck
Soft Palm
方便使用。

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製品介紹.jpg什麼叫E-chuck.jpg

公司簡介.jpg在線留言.jpg