設計開發應用於FPD,最先端半導體製造技術的E-chuckHPTS。

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什麼叫E-chuck-.jpg

_MG_6783.jpgE-chuck是於電極印加電壓使電極和對象物之間產生吸附力量的裝置。

與他社的區別.jpg

HPTS.jpg本公司的靜電吸盤的特點

庫倫力型靜電吸盤。
以電極裡印加電壓的方式實現安定吸附。
HPTS是在庫倫力型靜電吸盤中以最低的印加電壓發揮最大吸引力的靜電吸盤。
對絕緣體也發揮安定的吸附力。
對象物的背部的電位為零所以不影響背部的回路(比如TFT回路)。

筑波精工E-chuck(HPTS)優點.jpg

1,對象物面的均勻作用力⇒適合吸附薄型被吸物體。
2,広範圍的被吸物體: 導體~半導體~絕緣體(玻璃基板)。
3,被吸物體背面的電位為零,對背部(TFT回路等)沒有影響。
4,可以吸附多孔型被吸物體。
5,對象物不產生壓痕,傷痕等
6,從累積的對象物中只吸附上部的一張。⇒防止同時吸附幾張。
7在真空環境下也具有安定的吸附力。
8,與他社E-chuch相比所需印加電壓低(不影響TFT),吸著力強。

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