設計開發應用於FPD,最先端半導體製造技術的E-chuckHPTS。

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CordlessHolderforSputter.jpg

製品概要.jpg

コードレスホルダー.jpg

CordlessHolder

CordlessHolder(內藏電池驅動)
用sputtering成膜小型部品 ,晶圓 ,玻璃基板時 很容易固定被吸物體。


適於成膜裝置及其in-Line設備的電源內藏式E-chuck。
用筑波精工獨自的技術,使被吸物體不受負擔,容易固定。
可做固定,Tray來用。
3個小時的充電可用15個小時。
更換電極表面的薄膜,半永久性使用。

產品業績

○ 小型產品的成膜裝置。
○ FPD 玻璃基板 成膜Stage,Tray。





製品特徴.jpg

更換薄膜,半永久性使用。.jpg● 更換薄膜,可以吸附小面積的被吸物體,可半永久性使用。
● 更換薄膜,簡單。
● 可以使用15個小時以上。(充電式)

製品仕様.jpg

構 成
控制器內藏式Holder
吸附,脫離,控制,
電氣控制
吸着形態
電源內藏式,可連續使用15小時(3小時充電)
動作環境
大気〜真空
吸着対象
導体〜半導体〜絶縁体
保持力
120gf/平方cm(surface direction)
360gf/平方cm(vertical direction)

製品介紹.jpg什麼叫E-chuck.jpg

公司簡介.jpg在線留言.jpg